플라즈마(Plasma)는 이미 생활 가까이에 와 있다. 플라즈마디스플레이(PDP)가 가장 쉽게 볼 수 있는 플라즈마 응용의 예. PDP는 플라즈마로부터 나오는 빛을 이용해 문자 또는 그래픽을 구현하는 소자다. 기체, 액체, 고체에 이어 제 4의 상태로도 불리는 플라즈마는 특히 반도체·LCD 장비분야에서 상업화가 활발하다.

　공정장비 및 부품, 이온주입 장비, 플라즈마 에칭장비, 플라즈마 화학기상증착장비(PE CVD), 스퍼터링 장비, 표면처리 장비 등 이미 관련 장비가 상당 부분 개발돼 있....