사진; 에스이플라즈마에서 개발한 대면적 LCD용 대기압 플라즈마 세정장비. 대기압 플라즈마 기술을 응용, 별도의 진공장치가 필요하지 않고 별도의 화학유제가 필요하지 않아 환경 친화적이며 장비의 운용 및 유지보수 비용이 절감되는 것이 특징이다.

　플라즈마 소스와 관련한 기술력이 부족한 국내업계도 플라즈마를 응용한 식각 및 증착장비의 국산화에 나서고 있다.

　25일 관련 업계에 따르면 저온 및 대기압 플라즈마를 응용한 제조 공정이 반도체, 디스플레이 분야에서....