나노소자특화팹센터(KANC·원장 고철기)는 국내 화합물반도체 시설로는 최대 규모의 팹(Fab)을 구비하고 있다.

　이 가운데 나노리소패턴실은 ‘클래스1’의 청정도를 자랑하는 청정실이다. 3500㎡ 규모의 공간에 200여대의 장비가 구축돼 있다. ‘클래스1’은 1입방 피트(30㎤) 공간에 약 0.5마이크로미터(머리카락 평균 직경의 200분의 1) 크기의 먼지가 1개 들어 있는 수준이다. 먼지가 거의 없다고 보면 된다. 교육과학기술부는 ‘나노팹 시설 활용지원사업’을 통해 대학 연구자들....