미코씨엔씨(대표 이동근)는 LCD 증착장비의 오염 물질을 크게 줄여주는 열분해 공법의 세정 신기술을 개발했다고 4일 밝혔다.

　이번에 개발한 신기술은 기존 화학물을 통해 증착장비 챔버(chamber)를 세정하던 기술과 달리 열분해를 통해 오염된 챔버 알루미늄의 밀착력을 약화시킨 뒤 물리적으로 오염물을 박리하는 것으로 장비 부품 수명연장에 매우 효과적이라고 회사측은 덧붙였다.

　이동근 대표는 “신기술 세정공법을 적용하면 챔버 부품 수명을 5배 연장시켜 제조업체별 LC....