TCS-지멘스법을 사용해 정크타입 폴리실리콘을 생산하기 위해서는 먼저 약 98∼99.5% 순도의 메탈실리콘(MG-Si)과 고순도 염화수소(HCI)와 반응시킨다. 그러면 트리콜로실란(TCS), 데클로실란(DCS), 테트라콜로실란(STC) 등이 생산되며 증류과정을 통해 고순도의 TCS를 다른 부산물로부터 분리한다. 이 공정의 마지막 생산물인 고순도 TCS에는 약 20% 실리콘이 포함돼 다음 공정인 후공정으로 공급된다.

　TCS와 수소를 고온에서 반응시키면 흡열반응을 통해 TCS의 분자고리가 깨지고 TCS에 포....